Diese Booster-Vakuumpumpe wurde in partnerschaftlicher Zusammenarbeit mit JTEKT Co. Ltd., Osaka, Japan entwickelt (zuvor Koyo Seiko Co. Ltd.). Die Hochdruckpumpe erzeugt ein hohes Vakuum und erhöht die Durchflussraten in der Halbleiterherstellung. Das Magnetlagersystem wird durch ein Steuergerät von MECOS geregelt, was eine nahtlose Integration in die Anlage des Endkunden ermöglicht.

Technische Daten
Fotomaterial mit freundlicher Genehmigung von JTEKT Inc.

Drehzahl:	24'000 U/min
Motorleistung:	0.8 kW