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Turbomolekularpumpen
Der häufigste Einsatz von Magnetlagern sind Turbomolekularpumpen (TMP) zur Erzeugung von Ultrahochvakuum. Magnetlager haben sich hier im Vergleich zu anderen Lagerlösungen durchgesetzt, da sie problemlos im Vakuum betrieben werden können und zudem nahezu wartungsfrei sind. Die besondere Form eines TMP-Rotors, mit oder ohne Holweckstufe, führt auf stark gyroskopische Systeme, die mit einfachen Regelalgorithmen nicht zu stabilisieren wären. MECOS hat eine langjährige Erfahrung im Entwickeln und Produzieren von digitalen Reglern für Turbomolekularpumpen mit Durchflussraten von über 2000 l/s. In diesen Maschinen stellt die Grösse des Turbinenrades eine besondere Herausforderung an einen robusten und stabilen Betrieb dar.

Zudem müssen bei Turbomolekularpumpen strenge Vorgaben erreicht werden, wie:
  • sehr geringe Vibrationsemissionen
  • Resistenz gegenüber korrosiven Gasen
  • extrem kompakte Bauweise
Da Turbomolekularpumpen oft in grösseren Stückzahlen eingesetzt werden, ist die Integration der Steuereinheit in ein bestehendes Kommunikationsnetz des Endkunden unumgänglich.

Das beste Beispiel für eine erfolgreiche Zusammenarbeit mit dem Kunden ist die Entwicklung des MMC2A für die HiPace MC. MECOS und Pfeiffer Vacuum entwickelten dabei ein Produkt, welches aufgrund von mehreren mechanischen und elektrischen Schnittstellen nur durch eine enge Kooperation der Partner erfolgreich zur Marktreife gebracht werden konnte.




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